Innovative Kapazitätsmessung
Multizonenelektroden zur Sicherung höchster Qualität
Die Sicherung höchster Qualität wird durch die Kombination einer kurzen und einer langen Messelektrode (Multi-Zonen-Technologie) realisiert, welche in einem Messrohr integriert sind. Die kurze Messelektrode mit 10 mm Länge ermittelt periodische Kapazitätsschwankungen mit hoher Ortsauflösung mittels Fast Fourier Transformation (FFT). Aus den Daten der FFT wird die Rückflussdämpfung (SRL) bestimmt und gibt Aufschluss über die zu erwartende Dämpfung des HF-Signals bei der Datenübertragung. Die lange Messzone misst dagegen mit hoher Präzision den Mittelwert der Kapazität.
CD-Regelung (Capacitance/Diameter-Regelung)
Präzise Messwerte für die Kapazität und den Durchmesser sind die Basis für eine perfekte CD-Regelung.
Die CD-Regelung stellt sicher, dass die Kapazität und der Durchmesser den Vorgaben entsprechen. Erreicht wird dies mit einer automatischen Verstellung der Kühlwannenposition und einer Regelung der Liniengeschwindigkeit. Beide Einflussgrößen werden vom ECOCONTROL 6000 gesteuert.
Ihre Vorteile
- Selbstabgleichendes Stand-Alone-Messgerät
- Einzigartige Multizonenelektrode
- Zuverlässige Kapazitätsmessung und Blankstellendetektion
- Integrierte FFT-Analyse und SRL-Vorhersage